半導(dǎo)體設(shè)備
本文來自方正證券研究所2021年11月13日發(fā)布的報告《北方華創(chuàng)：晶圓廠擴張“賣水人”，平臺化布局“刻蝕+沉積+清洗+熱處理”》，2021年08月20日發(fā)布的報告《半導(dǎo)體刻蝕機研究框架》，2022年04月21日發(fā)布的報告《拓荊科技：國產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備產(chǎn)業(yè)化先鋒，布局PECVD+ALD+SACVD》，2022年06月04日發(fā)布的報告《華海清科：國內(nèi)唯一12英寸CMP設(shè)備量產(chǎn)供應(yīng)商，晶圓廠擴產(chǎn)+國產(chǎn)替代助推高速成長》，2021年12月31日發(fā)布的報告《盛美上海：晶圓廠擴張賣水人，國產(chǎn)半導(dǎo)體清洗設(shè)備龍頭，平臺化布局“電鍍+無應(yīng)力拋光+立式爐”》
